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0769-88030227
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設(shè)備：光學缺陷分析設(shè)備Candela CS920/ SICA 88
廠商：美國 KLA-Tencor Corporation/日本 Lasertec Corporation
用途：SiC/GaN/Si基板和外延（epi）晶圓表面缺陷檢測系統(tǒng)，可同時測量散射強度、形狀變化、表面反射率和相位轉(zhuǎn)移，為特征缺陷（DOI）進行自動偵測與分類。
技術(shù)指標：
l 檢測缺陷尺寸>0.1μm
l 最大樣品尺寸：6inch Wafer
l 超過30種DOI的缺陷分類
地址：廣東省東莞市松山湖國家高新區(qū)總部一號12棟5樓
電話：0769-33882377
郵箱：nfjc@cwbg-nf.com
傳真：0769-23078230